Principala clasificare a senzorilor:
După scop
Senzori sensibili la presiune și forță, senzori de poziție, senzori de nivel, senzori de energie, senzori de viteză, accelerometre, senzori de radiații, senzori termici.
Prin principiu
Senzor de vibrații, senzor de umiditate, senzor magnetic, senzor de gaz, senzor de vid, biosenzor etc.
Apăsați semnalul de ieșire
Senzor analogic: convertește cantitatea neelectrică măsurată într-un semnal electric analog.
Senzor digital: convertește mărimile neelectrice măsurate în semnale digitale de ieșire (atât directe, cât și indirecte).
Senzor digital: convertește semaforul măsurat în ieșirea unui semnal de frecvență sau a unui semnal cu ciclu scurt (inclusiv conversie directă sau indirectă).
Comutare senzor: Când un semnal măsurat atinge un anumit prag, senzorul emite un semnal setat scăzut sau ridicat corespunzător.
Prin procesul de fabricație
Senzorii integrati sunt fabricați folosind tehnologia de proces standard pentru producerea de circuite integrate semiconductoare pe bază de siliciu.
O parte din circuitele utilizate pentru a procesa inițial semnalul testat este de obicei integrată pe același cip.
Senzorul de film subțire este format dintr-un film dintr-un material sensibil corespunzător depus pe un substrat dielectric (substrat). Când se utilizează un proces de amestecare, o parte a circuitului poate fi, de asemenea, fabricată pe acest substrat.
Senzorul de film gros este realizat prin acoperirea unei suspensii dintr-un material corespunzător pe un substrat ceramic, care este de obicei realizat din Al2O3, și apoi tratat termic pentru a forma o peliculă groasă.
Senzorii ceramici sunt produși folosind procese ceramice standard sau unele variante ale acestora (sol, gel etc.).
După finalizarea operației pregătitoare corespunzătoare, componenta formată este sinterizată la o temperatură ridicată. Există multe caracteristici comune între cele două procese ale senzorilor cu peliculă groasă și ceramică. În unele privințe, procesul de film gros poate fi considerat o variantă a procesului ceramic.
Fiecare tehnologie de proces are propriile sale avantaje și dezavantaje. Senzorii ceramici și cu film gros sunt mai rezonabili datorită
